硅碳流化床物料衡算

FB-CVD 硅碳负极材料 · 按批次七阶段（上料置换 → 升温恒温 → 沉硅 → 二次升温 → 碳包覆 → 降温 → 出料）· 逐阶段列出物料名称 / 质量 / 组成浓度 / 阶段合计

口径来源：工艺技术库《100kg 硅碳流化床技术包文件》§5.1 / §6.1全部小程序

① 原料与主控 决定整条衡算

投料多孔碳
kg/批
吸附水 / 挥发份
%
硅烷 SiH₄ 流量
L/min
乙炔 C₂H₂ 流量
L/min
硅烷裂解分率
%
乙炔裂解分率
% → 包覆碳
乙炔未反应分率
%
年生产批次
批/年
反应：R1 SiH₄ → Si + 2H₂（沉硅）；R2 C₂H₂ → 2C + H₂（包覆）。未裂解乙炔按副反应计为碳氢化合物（以 C₃H₈ 计）。

② 时序与载气 L/min 为标况流量

① 上料与置换
h
② 升温 / 恒温
hh
③ 沉硅时长
h
④ 二次升温
h
⑤ 碳包覆时长
h
⑥ 降温 / ⑦ 出料
hh
升温+恒温 N₂
L/min
沉硅 N₂
L/min
二次升温 N₂
L/min
包覆 N₂
L/min
降温 N₂
L/min
置换 N₂ 反应罐 / 出料罐
Nm³Nm³
沉硅 / 包覆温度
℃℃
出料温度
℃
文档 §5.1 叙述升温载气 150 L/min，但其物料表取 17.30 kg（≈ 4 h × 58 L/min），两者不自洽；此处默认 58 以复现物料表。

③ 算例 一键载入

④ 结果总览 —

⑤ 输入参数一览

⑥ 分阶段物料衡算

⑦ 全周期界区收支

⑧ 元素守恒校核

⑨ 各阶段尾气组成与流量

⑩ 单位产品消耗定额

⑪ 与文档基准对照

⑫ 关键校核

⑬ 阶段气量一览

⑭ 计算说明

⑮ 计算书

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