| 项目 | 数值 | 说明 |
|---|---|---|
| 投料多孔碳 | 50 kg/批 | 骨架 49.85 + 吸附水/挥发份 0.15 kg |
| 硅烷 SiH₄ | 61.90 kg/批 | 60 L/min × 12 h,裂解率 95.125% |
| 乙炔 C₂H₂ | 8.78 kg/批 | 18 L/min × 7 h,裂解率 30% |
| 氮气消耗 | 191.4 kg/批 | 工艺载气(置换另计 15.6 kg) |
| 沉积硅 / 包覆碳 | 51.49 / 2.43 kg | R1 与 R2 计量生成 |
| 产品 | 103.77 kg/批 | Si 49.62% / C 50.38%,增重 ×2.075 |
| 沉硅尾气 | 38.70 m³/h | 工况出口流量(入口 29.38,放大 1.32 倍) |
| 沉硅尾气组成 | N₂ 50.6 / H₂ 48.2 / SiH₄ 1.2 | mol%,氢气浓度高须密闭焚烧 |
| 沉硅段气速 | 0.060 m/s | 床层平均(入口 0.052 / 出口 0.068) |
| 反应器 RT0101 | Φ448 mm · L/D 9.73 | 总高 6.86 m,310S δ=16 mm,工作容积 1.79 m³ |
| 批周期 / 年产 | 27 h · 25.94 t/a | 250 批/年 |